exposition à photolithographie par contact
- exposition à photolithographie par contact
- sąlytinis fotolitografinis eksponavimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. contact photolithography exposure
vok. Kontaktbelichtung, f
rus. экспонирование при контактной фотолитографии, n
pranc. exposition à photolithographie par contact, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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